『壹』 好凯德真空泵维护
好凯德真空泵日常使用和维护注意事项：
1、每日需要维护事项，检查泵内油质、油位
2、每星期需要维护事项，检查真空泵是否漏油，进气滤芯清理残留在总成与进气滤芯上的灰尘与杂物。
3、每月需要维护事项，检查排气过滤器，旋下排油口放出真空泵油，当泵油的流量较小时，可重新启动真空泵数秒，再次亲闭真空泵切断电源后重新打旋下排油口进行放油，多次重复此动作直至真空泵油排尽。
2、清洗真空泵，首先需将废油排尽，按照50%真空泵油，50%石蜡或柴油机燃料/燃料油比例调配2L清洗液;旋紧泄油塞，将此清洗液注入真空泵内，关闭进气口，启动真空泵运行至少30分钟;然后排放清洗液，并将排放的清洗液按照环保法规处理。
3、 检查浮子阀：卸下回油管与油箱之间的接头，然后卸下浮子阀法兰的两个螺钉，从油箱内取出浮子阀;检查浮子阀是否清洁、是否损坏，必要时用压缩空气清洗。组装时注意浮子阀法兰上已安装密封圈并完好无损，将浮子阀放入油箱的正确位置。
4、更换油过滤器：在新的油过滤器内的密封圈上滴润滑油，组装并用手拧紧。
5、注入新油：旋下加油塞，注入真空泵专用油，须确保油位位于油位镜的“MIN”与“MAX”标记之间；旋紧装有密封圈的加油塞。
『贰』 好凯德真空泵系列
好凯德真空泵产品系列有：油式单级旋片真空泵、油式双级旋片真空泵、干式螺杆真空泵、水环真空泵、活塞真空泵、旋涡式气泵、高压鼓风机等。
『叁』 倒换好凯德真空泵机组会发生什么故障该怎么处理
在进口真空泵定期一切换过程中，多次发生过类似异常。在备用真空泵启动、原运行泵停运后。凝汽器真空便开始缓慢下降，约15~30min后可下降5~6kPa，在此过程中，发现气水分离器内处于负压状态，这是一种异常现象。雅之雷德机电科技工程师分析认为，真空泵工作不正常，导致喷射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。
再次深究，认为真空泵内密封水量不足，造成真空泵底部水量未充满，气水分离器内的空气漏入真空泵内，使得真空泵内的负压形成得不够高，喷射器的工作抽吸力不足。据此临时采用手动启动方式，先启动密封水泵运行5min，然后再启动真空泵，这样有效地控制了真空的降低，同时将冷却器进行清理(发现冷却器内较脏)，保证了密封水量充足。采取以上措施后，在倒换好凯德真空泵机组运行过程中，未再有真空下降的异常发生。
从好凯德真空泵稳定运行的意义上讲，其充水量必须达到泵中心线以上位置，然后才能启动，否则会因其内部动静部分触碰咬合卡涩，导致泵体损坏，同时也只有这样真空泵才不会因其水量少而漏空，正常运行中，密封水量不得低于200L/min。
『肆』 如何修复好凯德真空泵
（一）真空泵的修正
为避免进口真空泵运用过程中出现疑问，介绍一下真空泵是如何修正的： 进口真空泵腐蚀的形状可分为悉数（均匀）腐蚀和部分腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵悉数外表，后者仅仅发生在部分，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。选用高分子复合材料对真空泵施行外表有机涂层防腐是当前卓有成效的防腐蚀办法之一，其具有杰出的耐化学功能及优良的力学功能和粘接功能，与传统的压力容器焊接修补比较，具有施工简洁、成本低、安全功能，修正作用好的特色。
（二）真空泵的结垢与扫除
好凯德真空泵在运用过程中，会因为技术用水、 钙镁硬度、PH值、电导率、总碱度、温度等要素发生结垢表象，然后构成如下损害：
1. 增大化学品的耗费和污染负荷；
2. 构成出产事端，削减设备寿数；
3. 增大非方案停机次数，构成出产连续，影响设备的出产功率。停机清洁，增加修理费用和额定的劳作负荷；
4. 增大能耗丢失。
雅之雷德传统修正办法有停机化学清洁、停机高压水清洁、增加阻垢剂、人工机械清洁、停机拆开替换等办法。
『伍』 好凯德真空泵在半导体制造业中的运用
在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。雅之雷德机电把它们分成两类:初级泵和高级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高级真空泵抽气.高级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高级和超高级真空。新型晶片厂中使用的好凯德真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
『陆』 好凯德真空泵高温的解决方案
电机功率、转速是和进口真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。
(1)将雅之雷德代理的好凯德真空泵风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。进口真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却。
(2)定期清除好凯德真空泵电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力。
(3)将进口真空泵所在母线电压调整为400V。
『柒』 好凯德旋片真空泵不工作的解决方案
雅之雷德提示，旋片真空泵不工作的原因及旋片真空泵不工作的解决办法如下：
研磨旋片，重新调整间隙。
清理掉所进杂物。
加强冷却水。
拆开旋片真空泵更换断裂的转子配件。
拆卸真空泵把锈除掉即可。
『捌』 好凯德真空泵的品牌概述在国内哪些地方有办事处
HokaiDo好凯德，源自1654年德国马德堡，以诚信热忱的态度为客户提供一流的产品。
公司先后在北京、天津、上海、重庆、青岛、深圳、佛山设置办事处，提供专业的技术咨询、工程设计、安装调试、保养维修及现场服务。
『玖』 好凯德真空泵产生超负荷的原因
结合雅之雷德的真空泵的安装形式及工作原理，分析进口真空泵超负荷、效率低的原因:
(1)基础安装对设备本体的影响。
设备基础安装的质量，对设备运转质量影响很大。垫铁垫置不当，易造成设备各地脚螺栓处悬空，在找正和紧固的过程因垫铁悬空，把紧地脚螺栓就会造成曲轴箱内十字头滑道变形，十字头在滑道内往复运行时受阻造成负荷增大。
往复真空泵其结构设计缸体在本体的一端，缸体加上活塞、进排气阀后重量较重，在基础设计时如果没有考虑缸体的下支撑或上吊架，缸体就会处于悬空的状态，因缸体的自重会造成曲轴箱滑道的变形及缸体与滑道同心度差，从而使十字头在滑道内往复运行时受阻及活塞在缸内往复运行时受阻造成负荷增大。
根据上述分析，检查发现真空泵缸体端比曲轴箱端略低，缸体端垫铁偏少，紧固地脚螺栓后十字头滑道变形，使十字头在滑道内和活塞在缸内往复运行时受阻造成负荷增大，这是引起电机过热的原因之一。
(2)缸体及阀结焦
受工艺影响，往复泵缸体及阀体极易结焦，缸体及活塞结焦会造成活塞在缸体内往复运行时受阻造成负荷增大;阀体结焦会造成排气不畅，阀片关闭不严，加大负荷，真空度低;缸体的余隙处结焦还会造成活塞撞缸也会加大负荷，雅之雷德检查发现缸体、阀片均有结焦现象，这是造成真空度低的主要原因。
『拾』 好凯德真空泵为什么会出现高温
一、好凯德真空泵为什么会出现高温?
电机功率大，工作电流大，导致好凯德真空泵高温。风扇叶片数较少，产生的风量小。风扇转速低，风压，风量小。真空泵电机所在母线电压为380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力，导致真空泵高温。等等都会导致真空泵出现高温情况。
二、好凯德真空泵高温解决方案
电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。
(1)将原真空泵风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却。
(2)定期清除真空泵电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力。
(3)将真空泵所在母线电压调整为400V。
三、解决好凯德真空泵高温的益处
(1)由于轴流风机转速高，风压风量大，冷却效果大大增强，在相同的环境温度、负荷电流下，真空泵主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。
(2)减缓了主电机的绝缘老化速度，延长了其使用寿命。
(3)轴流风机可人为控制，主电机停运后，轴流风机仍可运行，可以使主电机得到充分冷却。
(4)电压调整后，隔膜泵运行电流降为210A，发热量相对减小。
(5)尽量使2段母线负荷分配平衡，以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。